众所周知,去年10月份美国针对中国的芯片产业,进行了全面的封锁。从逻辑芯片到NAND闪存,再到DRAM存储,美国有着明确的目标。
而今年,美国更是联手荷兰,日本全面围堵中国芯片产业,彻底堵住中国联手荷兰、日本,绕过美国管制的可能性。
而在日本出台了半导体设备禁令之后,荷兰也正式出台了半导体设备禁令,针对光刻机等等设备进行了明确的规定,并将于9月1日正式执行,靴子正式落地。
【资料图】
荷兰管制的两家企业主要是ASML,ASM,针对的主要是先进的沉积设备和浸润式光刻系统。
在管制的具体条款中,涉及到EUV技术的所有设备、技术等一律禁止,包括EUV光刻机、EUV光罩、沉积、外延、生长等等环节,只要与EUV相关,就被禁止出口。
另外涉及到14nm及以下工艺的所有半导体设备、技术等,也被禁止出口,除非获得许可证,而这个许可证很明显是不会颁发给中国的。
并且从规则来看,已经销售出去的设备,后续的维修、保养等,居然也需要被限制,没有许可证,都不能维修……你说这狠不狠?
不过,在仔细分析了荷兰关于光刻设备的禁令之后,我发现荷兰针对光刻机,还是给中国留了一道口子的,很多网友称这可能是ASML故意留出来的一个“漏洞”。
为何这么说呢?那就是浸润式光刻机中, TWINSCAN NXT:2000i及后续推出的浸润式光刻系统被限制,但TWINSCAN NXT:1980Di没有被限制,可以出口。
而这台光刻机,则是ASML留出来的一个漏洞,为何这么说?因为 NXT:1980Di系列,采用193nm波长的光源,但也是浸润式光刻机的一种,分辨率为38nm,数值孔径为,这些参数与TWINSCAN NXT:2000i及后续的浸润式光刻机基本一致。
这台光刻机,在经过多重曝光之后,最高可以用于生产7nm的芯片,当然也能用于14nm、28nm、40nm等工艺。
在日本的芯片禁令中,这种即可以用于7nm,又能够用于28nm、40nm等的光刻机,日本是只要沾上14nm及以下,直接是一刀切,直接一禁了之。
但ASML则不然,还是留了一线,没有全部堵死,这就是网友所说的ASML故意留出来的一个“漏洞”。或许ASML也明白“做人留一线,日后好相见”?
ASML的总裁曾说,给中国一点时间,中国什么都能自己研发出来,或许ASML也就是担心这个,所以不至于全部堵死,这样自己的市场,还能保住几分。
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